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    硅烷混合气(SiH4/Balance)







    在70°F(21.1°C)气体压力5.0Mpa;可以按照要求配制其它压力。 
    可按照要求配制其它比例混合气。

    容器规格

    规格

    容器尺寸 (in.)(cm)

    平均重量 (lbs)(kg)

    平均容积 (ft3)(L)

    200

    3AA2265

    9x51    23x130

    119   54

    1.55  (43.9)

    硅烷在氮气气中

    含量

    气瓶规格

    充装量 (ft3)(L)

    阀门型号

    1.0%
    2.0%
    3.0%
    4.0%
    5.0%
    10.0%

    200

    77.6    2.2

    CGA350

    硅烷在氢气中

    含量

    气瓶规格

    充装量 (ft3)(L)

    阀门型号

    1.0%
    2.0%
    3.0%
    4.0%
    5.0%
    10.0%

    200

    77.6    2.2

    CGA350

    硅烷在氩气中

    含量

    气瓶规格

    充装量 (ft3)(L)

    阀门型号

    1.0%
    2.0%
    3.0%
    4.0%
    5.0%
    10.0%

    200

    77.6    2.2

    CGA350


    安全须知:

    危险本产品为无色、极易燃烧的气体混合物,有令人感觉不适的气味。该产品释放出来的潜在的危险是严重的热灼伤,由于该混合气体中的硅烷气体极易燃;另一种危险就是窒息性。






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