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二氟化氙(XeF2)
化学式
XeF2
中文名称
二氟化氙
英文名称
Xenon difluoride
CAS No.
13709-36-9
分子量
169.289806
充装系数
应用
在MEMS 的蚀刻工艺中,二氟化氙(XeF2)气态 被用于去除硅的牺牲区域。通常与无水氟化氢(HF)搭配使用。
产品规格
≥99.999%
百科:
二氟化氙是一种无色固体,在室温下容易升华而形成大的透明晶体。二氟化氙蒸汽是无色的,具有令人发呕的恶臭。它是极强的氧化剂,可使许多有机、无机化合物氟化而放出氙,可从氯化氢中释放氯气,将碘化钾氧化成碘。它是一种选择性很好的氟化试剂,在无机氟化物制备及有机合成中有广泛的应用。
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